萧至忠早年曾在伊阙县、洛阳县担任县尉,后改任监察御史。704年(长安四年),萧至忠因弹劾宰相苏味道赃贪,被越级擢升为吏部员外郎。
705年(神龙元年),萧至忠因依附梁王武三思,升任御史中丞。后来,萧至忠又弹劾祝钦明、窦希玠与李承嘉,改任吏部侍郎,仍兼御史中丞。
707年(景龙元年),太子李重俊发动兵变,诛杀武三思,但最终兵败被杀。宰相宗楚客趁机诬陷相王李旦也参与兵变,唐中宗便命萧至忠审理。萧至忠哭诉道:“此前,天后欲立相王为太子,相王数日不食,请求让于陛下,其德行天下皆知。如今陛下贵为天子,怎么容不下一个弟弟呢?而要信人谗言。”唐中宗这才作罢。不久,萧至忠担任中书侍郎、同中书门下平章事,成为宰相。
709年(景龙三年),萧至忠升任侍中,监修国史,不久又改任中书令。当时,宰相宗楚客、纪处讷结党营私,韦巨源、杨再思、李峤只求自保,无所匡正。萧至忠起初坚守本职,受到时人的尊重,后来也依附于韦氏,将女儿嫁给韦皇后的表弟,甚至为死去的女儿与韦后的弟弟结冥婚。
710年(景云元年),李隆基发动唐隆政变,诛杀韦皇后。不久,相王李旦继位,是为唐睿宗,萧至忠被贬为晋州刺史。当时,太平公主权倾朝野,萧至忠便主动投靠太平公主。太平公主认为萧至忠的儿子在唐隆政变中遇害,他一定会心存怨望,可以帮助自己,便把他召回京师,任命为刑部尚书、中书令,封酂国公。
对于萧至忠依附太平公主的行为,很多人都进行反对。萧至忠的妹夫华州刺史蒋钦绪曾对他道:“凭您的才学,何必担心日后不能飞黄腾达!最好不要作非分之想,钻营求官。”萧至忠不听。蒋钦绪叹道:“萧家九代卿族,至此一朝族灭,实在是可悲呀!”后来,萧至忠从公主府中出来,恰巧遇到宋璟。宋璟道:“这不是我对您所期望的。”萧至忠讪笑道:“宋生说得很对!”说完便催马离去。
712年(先天元年),唐睿宗禅位于太子李隆基,是为唐玄宗。713年(开元元年),太平公主与萧至忠、窦怀贞、岑羲、崔湜、薛稷等人密谋废立,决定在七月四日发动兵变,由常元楷、李慈率羽林军闯入武德殿,萧至忠则与窦怀贞、岑羲在南衙举兵响应。不料唐玄宗提前得知消息,抢先平息兵变。萧至忠逃入南山,数日后被捕伏诛,家财也被抄没。
萧至忠虽因谋反被杀,唐玄宗对他仍很欣赏。后来,唐玄宗任命源乾曜为宰相,对高力士道:“你知道我为什么提拔源乾曜吗?我觉得他很像萧至忠。”高力士问道:“萧至忠不是辜负了陛下吗?”唐玄宗道:“萧至忠是治国之才,只是晚年做了错事而已,他起初不是非常贤能吗?”
地灵传景福,天驾俨钩陈。佳哉藩邸旧,赫矣梵宫新。香塔鱼山下,禅堂雁水滨。珠幡映白日,镜殿写青春。甚欢延故吏,大觉拯生人。幸承歌颂末,长奉属车尘。
岧峣仓史台,敞朗绀园开。戒旦壶人警,翻霜羽骑来。下辇登三袭,褰旒望九垓。林披馆陶榜,水浸昆明灰。网户飞花缀,幡竿度鸟回。豫游仙唱动,潇洒出尘埃。
北斗枢机任,西京肺腑亲。畴昔王门下,今兹制幸晨。恩来山水被,圣作管弦新。绕座薰红药,当轩暗绿筠。摘荷才早夏,听鸟尚馀春。行漏金徒晓,风烟是观津。